技術(shù)編號(hào)：2766730
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種采用CCD攝像機(jī)的曝光系統(tǒng)中的準(zhǔn)直裝置，尤其是涉及一種用于帶CCD攝像機(jī)的曝光系統(tǒng)中的能夠使工件位置精確對(duì)準(zhǔn)的準(zhǔn)直裝置。通常在曝光系統(tǒng)中有許多CCD攝像機(jī)被用于校準(zhǔn)要曝光的圖形校準(zhǔn)以達(dá)到精確位置。采用這些系統(tǒng)時(shí)，圖形被刻在半導(dǎo)體晶片掩膜母版上或液晶顯示器基片上。如上所述，采用大量CCD攝像機(jī)時(shí)，首先將透鏡設(shè)置成低倍放大率而搜索到用于對(duì)要曝光的圖形定位的準(zhǔn)直刻線。在第一次找到準(zhǔn)直刻線之后，將透鏡設(shè)置成高倍放大率，對(duì)要曝光的圖形精確定位。這樣就需...
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該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。