技術(shù)編號：2766726
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及微型機(jī)械裝置，更特別地涉及微型機(jī)械裝置的鉸鏈和杠桿元件。微型機(jī)械裝置通常包括制造在基片上的帶有運(yùn)動部件的微型化裝置。這樣的裝置的一個例子是數(shù)字微型反射器裝置，或DMD。另一個例子包括微型加速度計、微型馬達(dá)和傳動裝置。某些這類結(jié)構(gòu)包括一個例如為鉸鏈或杠桿的支持元件，該微型機(jī)械的另一個元件被懸掛在該支持元件上。被懸掛元件的往復(fù)運(yùn)動需要鉸鏈或杠桿有彈性且結(jié)實(shí)。還需有柔韌性，以便于被懸掛元件的運(yùn)動。如果鉸鏈或杠桿不結(jié)實(shí)，它就會在運(yùn)動方向上永久地彎曲，或有...
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