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相位光柵及其制造方法、光學(xué)編碼器、使用光學(xué)編碼器的電動機(jī)及使用該電動機(jī)的機(jī)械手的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2766395

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本發(fā)明涉及具有近似矩形波形、用以抑制0次衍射效率的相位光柵,該相位光柵的制造方法和光學(xué)編碼器,并進(jìn)一步涉及使用該光學(xué)編碼器的電動機(jī)和使用該電動機(jī)的機(jī)械手,尤其涉及通過對衍射板產(chǎn)生干涉的入射自然輻射光束觀察衍射板的移動狀態(tài),諸如旋轉(zhuǎn)狀態(tài)的光學(xué)編碼器,其中的衍射板具有一相位光柵安裝在一個移動物體,例如旋轉(zhuǎn)物體上,使衍射光通過衍射板相互產(chǎn)生干涉,并測量干涉光的強(qiáng)度。迄今為止,相位光柵主要用于相干光。例如,在光通信中,在將一個光信號劃分為兩部分或?qū)蓚€光信號組合為...
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