技術(shù)編號:2759592
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明屬于納米加工,涉及一種基于移相原理提高分辨率的超衍射成像 器件及其制作方法。背景技術(shù)自2000年P(guān)endry提出“完美透鏡”和“超透鏡”的概念以后,基于表面等離子體 的超分辨成像光刻技術(shù)以其低成本、高效率以及高分辨率等優(yōu)點而受到人們的廣泛關(guān)注。 2005年Xiang. Z.首次從實驗上利用“超透鏡”在365nm光源下獲得60nm的超分辨光刻,新 西蘭R. J. Blaikie也對超透鏡成像光刻做了更深入的研究。然而,盡管“超透鏡”可突破衍 射極限,但...
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