技術(shù)編號(hào)：2759418
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及光刻領(lǐng)域，尤其涉及投影式斜坡曝光光刻機(jī)裝置及方法。 背景技術(shù)微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMSMicro-electro-mechanical-system)的三類主流工藝是表面硅加工工藝、體硅加工工藝、以LIGA為代表的三維非硅材料加工工藝。第一， “LIGA”是德語單詞Lithographiejalvanoformung，Abformung的縮寫，它包括同步輻射光亥丨J、微電鑄、微塑鑄三個(gè)過程。LIGA技術(shù)是80年代初由德國Karlsruhe原子核研究...
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