技術(shù)編號：2759191
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種提高裝置精度的方法，且特別涉及ー種提高可旋轉(zhuǎn)的工作臺的精度的方法。背景技術(shù)在精密儀器，例如是光刻機中，由于旋轉(zhuǎn)臺支撐結(jié)構(gòu)運動不平穩(wěn)，會引入非線性誤差，實際旋轉(zhuǎn)角度會隨著設(shè)定旋轉(zhuǎn)角度的不同存在不同的偏差，導(dǎo)致旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)精度不能滿足實際曝光需求。申請?zhí)枮?00910200944. 2的中國專利申請介紹了一種旋轉(zhuǎn)臺，包含旋轉(zhuǎn)中心定位機構(gòu)，工作臺繞其旋轉(zhuǎn)中心定位機構(gòu)的中心相對基板做旋轉(zhuǎn)運動。旋轉(zhuǎn)中心定位機構(gòu)是由柔性機構(gòu)做成的，因此沒有間隙，位移線性...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。