技術(shù)編號：2758074
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種定位裝置，且特別涉及一種四自由度精密定位裝置。 背景技術(shù)在半導體設(shè)備制造、精密加工以及圖像對準等領(lǐng)域中，經(jīng)常會使用各種類型的精密定位平臺，例如，TFT-LCD光刻機中的基板定位平臺等。在基板定位平臺上使用了四自由度運動裝置，實現(xiàn)Z、Rx, Ry、Rz向的運動，四自由度運動精度要求高，而且在安裝空間上十分有限，尤其是在高度方向上。中國專利200910045941. 6公開的一種調(diào)焦調(diào)平機構(gòu)，該機構(gòu)采用水平向驅(qū)動與垂向驅(qū)動分開的方式，垂向驅(qū)動機構(gòu)...
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