技術編號：2757987
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及執(zhí)行器(actuator)、光掃描儀以及圖像形成裝置。 背景技術作為在激光打印機等中所使用的光掃描器，公知有通過微細加工(micro machining)技術對Si基板進行加工而制造了的、采用了具有扭振子的結構體的光掃描器。 采用了這種結構體的光掃描器具有能夠比多邊形反射鏡(# 'J ^ > 7 -)更高速地進行 光掃描的優(yōu)點。例如，專利文獻1所涉及的執(zhí)行器，將板狀的反射鏡通過1對彈簧部來雙夾持支 撐，各彈簧部在其中途分支，在其分支部分設置...
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