技術(shù)編號：2756948
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種遮蔽構(gòu)件、一種光刻設備以及一種器件制造方法。 背景技術(shù)光刻設備是一種將所需圖案應用到襯底上，通常是襯底的目標部分上的機器。 例如，可以將光刻設備用在集成電路(ICs)、器件或IC器件的制造中。在這種情況下， 可以將可選地稱為掩模或掩模版的圖案形成裝置用于生成在所述IC、器件或IC器件的單 層上待形成的電路圖案?？梢詫⒃搱D案轉(zhuǎn)移到襯底(例如，硅晶片)上的目標部分(例 如，包括一部分管芯、一個或多個管芯)上。通常，圖案的轉(zhuǎn)移是通過把圖案成像到提 ...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
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