技術(shù)編號：2756065
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及用于制造例如液晶顯示裝置等平板顯示器(Flat Panel Display以 下稱為FPD)等的多色調(diào)光掩模、用于制造該多色調(diào)光掩模的光掩模坯體(7 *卜7 7夕7 >々)、該多色調(diào)光掩模(多階調(diào)7 *卜7 7々)的制造方法和使用該多色調(diào)光掩模的圖 案轉(zhuǎn)印方法。背景技術(shù)例如，液晶顯示裝置中使用的TFT (薄膜晶體管)基板是使用在透明基板上形成有 由遮光部和透光部構(gòu)成的轉(zhuǎn)印圖案的光掩模，經(jīng)過例如5次 6次的光刻工序而制造的。近 年來，為了減少...
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