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一種用于半導(dǎo)體激光器的波導(dǎo)耦合器芯片的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2755551

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本發(fā)明涉及一種光學(xué)元器件,具體地說涉及一種用于半導(dǎo)體激光器的波導(dǎo)耦合器-H-· I I心片。背景技術(shù)在光纖通信系統(tǒng)中,發(fā)射源與光纖之間耦合,并把兩者同軸封裝,構(gòu)成用量最大的 電光轉(zhuǎn)換器件,耦合效率是該電光轉(zhuǎn)換器件的重要性能指標(biāo)。半導(dǎo)體激光器是常用的發(fā)射 源,由于端面發(fā)射半導(dǎo)體激光器輸出的激光在垂直方向的發(fā)散角(通常約為30 40°,即 圖1所示X方向)與水平方向的發(fā)散角(通常約為6 10 °,即圖1所示Y方向)差別很大, 與光纖的模場失配嚴(yán)重,因而直接耦合...
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