技術(shù)編號(hào)：2754959
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種具有由薄膜晶體管(以下，稱為TFT)構(gòu)成的電路的半導(dǎo)體裝置及 其制造方法。例如，涉及一種將以液晶顯示面板為代表的電光裝置用作部件而安裝的電子 設(shè)備。另外，本說明書中的半導(dǎo)體裝置是指能夠通過利用半導(dǎo)體特性而工作的所有裝 置，因此電光裝置、半導(dǎo)體電路以及電子設(shè)備都是半導(dǎo)體裝置。近年來，一種利用在具有絕緣表面的襯底上形成的半導(dǎo)體薄膜(厚度約為數(shù)納米 到數(shù)百納米)來制造薄膜晶體管(TFT)的技術(shù)備受矚目。薄膜晶體管被廣泛應(yīng)用于諸如IC 和電光裝置之類...
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