技術(shù)編號：2754950
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種平面光波導(dǎo)器件，尤其是涉及一種基于硼鍺共摻上包層的二氧化 硅光波導(dǎo)器件及制備方法。背景技術(shù)在電子，分立器件發(fā)展為集成電路的歷史改變了電子產(chǎn)業(yè)生產(chǎn)模式。同 樣，在光學(xué)，目前單一形式的各類光學(xué)元件走向未來集成光學(xué)之路，也將大大改變 當(dāng)前傳統(tǒng)光學(xué)技術(shù)的現(xiàn)狀，對軍事及民用信息系統(tǒng)的開發(fā)產(chǎn)生深遠影響。如同IC芯片的 概念，平面光波導(dǎo)(Planar Lightwave Circuits，簡稱PLCs)就是利用與傳統(tǒng)半導(dǎo)體工藝 (Complementary...
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