技術(shù)編號：2754925
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及微機(jī)電系統(tǒng)和紅外熱成像，具體涉及一種具有緩和坡度的犧 牲層結(jié)構(gòu)的制備方法。背景技術(shù)自1800年英國物理學(xué)家赫胥爾發(fā)現(xiàn)了紅外線以后，由于紅外線具有能穿透黑夜、 厚云和濃煙等進(jìn)行探測和成像的特殊本領(lǐng)，紅外探測就成為科研工作者的一個(gè)重要研究內(nèi) 容。紅外探測器分為兩類光子探測器和熱探測器。光子探測器具有很高的靈敏度，但是需 要在體積和功耗都相對較大的制冷器協(xié)助下才能正常工作。而熱探測器可以在室溫下正常 工作，與光子型紅外探測器相比，具有體積小、重量輕、價(jià)...
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