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流體光波導(dǎo)結(jié)構(gòu)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2753212

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流體光波導(dǎo)結(jié)構(gòu)所屬領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種流體光波導(dǎo)結(jié)構(gòu),屬于微機(jī)械電子系統(tǒng)(MEMS)、集成光學(xué)領(lǐng)域的 流體光波導(dǎo)領(lǐng)域?,F(xiàn)有技術(shù)流體光波導(dǎo)能夠?yàn)樯餀z測提供賴于生存的液體環(huán)境,同時提供光信息傳輸?shù)奈?理通道,近年來得到了廣泛的研究。目前研究中的流體光波導(dǎo)的結(jié)構(gòu)包括三種(1)導(dǎo)波層 材料為流體,覆蓋層材料為固體;(2)導(dǎo)波層材料為流體,覆蓋層材料為流體;(3)導(dǎo)波層材 料為流體,覆蓋層材料為氣體。由流體導(dǎo)波層和固體覆蓋層構(gòu)成的流體光波導(dǎo)。中國專利(CN20071...
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