技術(shù)編號：2752998
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及半導體、微電子等器件的紫外激光加工設備。 背景技術(shù)在半導體、微電子等器件制造行業(yè)，特別是對LED(發(fā)光二極管)晶片、半導體晶 圓、太陽能硅片等材料的直線劃槽加工領域，紫外激光加工已成為主要的加工方式。作為紫 外激光加工設備的重要組成部分一光學傳導裝置是紫外激光加工設備制造的關鍵技術(shù)。 然而，許多半導體、微電子器件的紫外激光加工設備其光學傳導裝置多采用激光傳輸與圖 形對準識別“異軸”，雖然也有“同軸”傳輸，但其結(jié)構(gòu)使激光傳輸同軸度、激光焦點Z向位置...
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