技術(shù)編號(hào)：2752474
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體元件及其形成方法，且特別是涉及一種光電元件及其形成 方法。背景技術(shù)光電元件包括光學(xué)元件及電子元件，其中光學(xué)元件包括從光纖接收光信號(hào)的耦合 器(coupler)，接受并傳送光信號(hào)的光波導(dǎo)(optical waveguide)等，且電子元件包括控制 光波導(dǎo)的金屬氧化半導(dǎo)體(M0Q元件。金屬氧化半導(dǎo)體元件控制光波導(dǎo)以將光信號(hào)轉(zhuǎn)換為 電子信號(hào)供其他電子元件使用?，F(xiàn)有的作法是將電子元件如金屬氧化半導(dǎo)體元件形成在一芯片上，而光學(xué)元件如 耦合器及光波...
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