技術(shù)編號(hào):2751773
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及具有反射型的空間光調(diào)制器的光調(diào)制裝置和激光加工裝置。 背景技術(shù)在專(zhuān)利文獻(xiàn)1中,記載有采用反射型的空間光調(diào)制器(SLM =Spatial Light Modulator)的裝置。在記載于該文獻(xiàn)中的裝置中,在假想基準(zhǔn)直線(xiàn)上設(shè)置2個(gè)反射鏡,在從假想基準(zhǔn)直線(xiàn)沿垂直方向而錯(cuò)開(kāi)的位置,設(shè)置反射型SLM。另外,沿假想基準(zhǔn)直線(xiàn)而射入的輸入光通過(guò)其中一個(gè)反射鏡而反射,射入SLM中。該光通過(guò)SLM而調(diào)制,通過(guò)另一反射鏡反射,然后,沿假想基準(zhǔn)直線(xiàn)而射出。近年,人們研究...
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