技術(shù)編號(hào)：2751286
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種光學(xué)設(shè)備、光學(xué)成像設(shè)備，包括將光學(xué)模塊與支撐結(jié)構(gòu)連接的設(shè) 備和方法?？梢栽谌魏喂鈱W(xué)設(shè)備或光學(xué)成像方法中使用本發(fā)明。具體地，可以在微電子電 路的制造中采用的微光刻中使用本發(fā)明。背景技術(shù)具體地，在微光刻的領(lǐng)域中，除了使用設(shè)計(jì)為具有最高可能的精度的組件外，還特 別需要在操作期間保持成像設(shè)備的光學(xué)模塊(例如具有物鏡、反射鏡和柵格的光學(xué)元件的 模塊)，使得它們與規(guī)定的設(shè)置位置或規(guī)定的設(shè)置幾何形狀具有最小可能的偏差，以獲得相 應(yīng)的高成像質(zhì)量(其中，在本發(fā)...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。