技術(shù)編號(hào)：2750970
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及對(duì)形成于襯底上的激光束焦斑的尺寸的控制，例如用于利用直寫法對(duì) 材料燒蝕或激光固化。本發(fā)明尤其適合用于對(duì)薄玻璃、聚合物、金屬或者其他厚度有變化或 不平坦的襯底上的薄膜或材料層進(jìn)行高分辨率的、精細(xì)線條的圖案化。背景技術(shù)利用激光在平坦襯底表面中或表面上燒蝕或固化精細(xì)線條結(jié)構(gòu)的技術(shù)是公知的， 并且許多不同的裝置被用于完成這些操作。所使用的設(shè)備的共同特征是一個(gè)發(fā)射脈沖光 束或連續(xù)光束的激光系統(tǒng)，使激光束在襯底表面聚集成一個(gè)斑點(diǎn)的聚焦透鏡，以及使激光 焦斑在...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。