技術(shù)編號：2750553
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明的領(lǐng)域涉及微機電系統(tǒng)(MEMS)。 背景技術(shù)微機電系統(tǒng)(MEMS)包括微機械元件、激活器及電子元件。可使用沉積、蝕刻及/ 或其它蝕刻掉襯底及/或所沉積材料層的部分或添加若干層以形成電氣及機電裝置的微 機械加工工藝來產(chǎn)生微機械元件。一種類型的MEMS裝置稱作干涉式調(diào)制器。如本文中所 使用，術(shù)語“干涉式調(diào)制器”或“干涉式光調(diào)制器”指代使用光學(xué)干涉的原理選擇性地吸收及 /或反射光的裝置。在某些實施例中，干涉式調(diào)制器可包含一對導(dǎo)電板，所述對導(dǎo)電板中的 一者或...
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