技術(shù)編號(hào)：2749446
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種在導(dǎo)電基板上制備微粗細(xì)導(dǎo)電線路的直寫裝置，尤其涉及一種能在大幅面導(dǎo)電基板上快速加工、高精度定位、重復(fù)直寫的裝置。 背景技術(shù)目前不同結(jié)構(gòu)的激光直寫系統(tǒng)，應(yīng)用于如集成電路制造、微光學(xué)元件加工、MEMS、 光學(xué)檢測(cè)、光學(xué)防偽等多個(gè)行業(yè)中。因此，激光直寫系統(tǒng)的研制工作備受關(guān)注?，F(xiàn)有比較 成熟的布線工藝包括絲網(wǎng)印刷、單振鏡平臺(tái)步進(jìn)激光直寫、平臺(tái)移動(dòng)激光直寫和掩膜光刻 等，具體來(lái)看 絲網(wǎng)印刷絲網(wǎng)網(wǎng)版上涂滿感光膠后通過預(yù)置圖案的菲林曝光，曝光固化后的感...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。