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光電混合基板及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2745475

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本發(fā)明涉及包括光導(dǎo)波路部分、電路部分、以及在該電路部分上安裝的光學(xué)元件的。 背景技術(shù)如圖7所示,例如,光電混合基板是通過粘接劑5將電路部分6和光波導(dǎo)路部分7 粘合、并在上述電路部分6上安裝發(fā)光元件3以及受光元件4而構(gòu)成的。上述光波導(dǎo)路部 分7是通過從上述電路部分6側(cè)依次形成下敷層71、芯72、上敷層73而成的光波導(dǎo)路70 而構(gòu)成的。該光波導(dǎo)路的兩端部形成相對于光軸傾斜45。的傾斜面,該傾斜面的芯72部分 形成為光反射面71a。上述電路部分6是在基板60的一...
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