技術(shù)編號:2745325
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明屬于光譜中涉及的一種在全息光柵制作光路中精確調(diào)整刻線密度的方法。 背景技術(shù)光柵常數(shù)是衍射光柵非常重要的技術(shù)指標,所謂光柵常數(shù)是指每毫米刻線數(shù)的倒 數(shù),它決定光柵的色散率和分辨率,光柵常數(shù)的準確性直接影響光譜儀器的波長精度,在制 作過程中必須給予嚴格控制。 制作全息光柵時,將涂有光致抗蝕劑的光柵基底放在干涉場中曝光,由光致抗蝕 劑記錄干涉場中的干涉條紋,該干涉條紋的密度即為被制作光柵的刻線密度。當曝光波長 一定時,干涉條紋的密度唯一取決于兩束平行光的夾...
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