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薄膜晶體管陣列基板制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2744847

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本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體元件的制造方法,尤其涉及。背景技術(shù)現(xiàn)在的液晶顯示器主要以薄膜晶體管液晶顯示器(TFT LCD)為主流,TFT LCD (Thin Film Transistor Liquid Crystal Display)的一般結(jié)構(gòu)是具有彼此相對的薄膜 晶體管陣列基板和彩膜基板,在兩個基板之間設(shè)置襯墊料以保持盒間隙,并在該盒間隙之 間填充液晶。 目前量產(chǎn)的TFT陣列基板大多至少需要四輪光罩工序。圖1為采用四道光罩工序 制造的現(xiàn)有技術(shù)TFT陣列基板的平...
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