技術編號：2744688
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種微機電式法布里-珀羅裝置(MEMS Fabry-PerotDevice)制造方法，尤其涉及一種能精確定位法布里-珀羅裝置的二平行構件的。背景技術 法布里-珀羅裝置因可濾出多個特定頻率的波長，故通常應用于如可調(diào)式濾波器(Tunable Filter)、波長鎖定器(Wavelength Locker)及可調(diào)式雷射(Tunable Laser)等光學元件中。如圖1所示，一法布里-珀羅裝置100，系由兩平行構件102及104中間間隔多個厚度為d的間隔...
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