技術(shù)編號：2744377
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種用于銅層、銅/鉬層、或銅/鉬合金層的蝕刻溶液，包含過氧化氫、硫酸鹽、磷酸鹽、提供氟離子的氟化物、螫合劑、第一水溶性環(huán)胺、第二水溶性環(huán)胺、二醇化合物、以及去離子水。 硫酸鹽可選自硫酸銨、過硫酸銨、硫酸鈉、過硫酸鈉、硫酸鉀、過硫酸鉀、以及硫酸的至少一種，但不以此為限。硫酸鹽增加銅的蝕刻速率，可有效地增進(jìn)蝕刻制程的生產(chǎn)率。 磷酸鹽并未大幅受限，但可選自單磷酸銨、二磷酸銨、磷酸二氫鉀、以及磷酸二氫鈉的至少一種。另外，氟化物可使用于蝕刻溶液中可提供氟離...
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