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光波導路裝置的制造方法技術資料下載

技術編號:2744157

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本發(fā)明涉及光通訊、光信息處理、其它一般光學中廣泛使 用的。背景技術光波導路裝置的光波導路通常是在下敷層的正面將作為 光通路的芯形成為規(guī)定的圖案,以覆蓋該芯的狀態(tài)形成上敷層 而構成的。這樣的光波導路通常形成在金屬制基板等的基板正 面,與該基板一起作為光波導路來^皮制造。制造這樣的光波導路的以往的制造方法如下首先,如圖 3的(a)所示,在基板10的正面形成下敷層2。接著,如圖3的 (b)所示,在下敷層2的正面涂敷芯形成用的感光性樹脂,形 成感光性樹脂層3A。接...
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