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將從樣本發(fā)出的第一和第二部分圖像束合并為合成圖像束的光學系統(tǒng)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2744126

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本發(fā)明涉及根據(jù)權(quán)利要求1的前序部分的用于將第一和第二部分圖像 束合并為合成圖像束的光學系統(tǒng),其中每個部分圖像束來自一個樣本。這 樣的系統(tǒng)尤其用在用于對多個準備好的樣本進行檢查的光學儀器中,例如比較顯微鏡或比較顯宏鏡(macroscope)。 背景技術(shù)當執(zhí)行比較檢查時,第一樣品的圖像通常與第二樣品的圖像對比。比 較顯微鏡和比較顯宏鏡用于執(zhí)行這樣的檢查是已知的,其中通過諸如比較 橋的光學系統(tǒng)將從兩個目標得到的部分圖像束結(jié)合成 一 個用戶可以看到 的合成圖像束。...
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