技術(shù)編號：2743753
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。相關(guān)申請的交叉參考本申請要求美國臨時專利申請的優(yōu)先權(quán)，其申請?zhí)枮镹o.60/329,758，申請人是Oskotsky等人，申請日是2001年10月18日，本申請結(jié)合了優(yōu)先權(quán)申請的全部內(nèi)容。背景技術(shù)發(fā)明領(lǐng)域本發(fā)明總體上涉及照相平版印刷的照明系統(tǒng)。 背景技術(shù) 照相平版印刷(也稱微平版印刷)是一種半導(dǎo)體器件制作技術(shù)。照相平板印刷使用紫外光或可見光在半導(dǎo)體器件設(shè)計中產(chǎn)生精確的圖形。半導(dǎo)體器件的許多類型，如二極管、晶體管和集成電路，都能使用照相平版技術(shù)制作。利用曝光...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。