技術(shù)編號(hào)：2741729
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種光線調(diào)制裝置；更具體的說(shuō)，本發(fā)明涉及一種基于柔性支撐結(jié)構(gòu) 的光柵光調(diào)制器及陣列。背景技術(shù)現(xiàn)有技術(shù)己經(jīng)公開(kāi)了多種可以單獨(dú)使用或與其他調(diào)制器一起使用的基于MEMS工 藝的光調(diào)制器，這些調(diào)制器包括數(shù)字式微反射鏡器件(DMD)及光柵光閥(GLV)等。德州儀器公司的微反射鏡器件是由MEMS技術(shù)制造的上百萬(wàn)個(gè)可偏轉(zhuǎn)的反射微鏡 構(gòu)成的調(diào)制器。DMD微鏡的緊密間隙令投射的影像產(chǎn)生更細(xì)致的無(wú)縫畫面，分析力高。 但是DMD的缺陷在于，其復(fù)雜的多層結(jié)構(gòu)導(dǎo)致制作過(guò)程...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。