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光波導(dǎo)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2740898

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本發(fā)明涉及廣泛應(yīng)用于光通信、光信息處理以及其他一般光學(xué)領(lǐng) 域的光波導(dǎo)。背景技術(shù)光波導(dǎo)被組合在光波導(dǎo)設(shè)備、光學(xué)集成電路、光布線襯底等光學(xué) 設(shè)備中,廣泛應(yīng)用于光通信、光信息處理以及其他一般光學(xué)領(lǐng)域。光 波導(dǎo)通常將作為光的通路的芯形成為預(yù)定圖案,并以覆蓋該芯的方式形成下包層和上包層(例如參照專利文獻(xiàn)l)。此種光波導(dǎo)如圖6所 示。圖6中,在襯底1上順序形成下包層2、芯3、上包層4而構(gòu)成 光波導(dǎo)。上述芯3的折射率設(shè)定為大于下包層2以及上包層4的折射率, 由此,可以使...
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