技術(shù)編號(hào)：2740197
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及空間光調(diào)制器的封裝。技術(shù)背景在制造空間光調(diào)制器時(shí)，通常將多個(gè)空間光調(diào)制器制作在半導(dǎo)體 晶片上。這些空間光調(diào)制器然后被密封在微腔中，并隨后分割成單獨(dú) 的電路小片。這些微腔典型地包括透明窗口，空間光調(diào)制器通過(guò)這些 透明窗口接收和輸出光信號(hào)。為了確?？臻g光調(diào)制器的光學(xué)性能，很 重要的是要避免微腔內(nèi)的不想要的散射光從透明窗發(fā)射出去。發(fā)明內(nèi)容在一個(gè)方面，本發(fā)明描述一種封裝的空間光調(diào)制器(SLM)。 該SLM包括在基板上位于腔內(nèi)的空間光調(diào)制器；部分地限定所述...
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