技術(shù)編號(hào):2739954
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及微裝置的制造,特別地,涉及具有鏡面的微裝置的制造。背景技術(shù)可利用具有反射面的可傾斜鏡板的陣列來(lái)構(gòu)造空間光調(diào)制器(SLM)。通過(guò)靜電力的作用,每個(gè)鏡板可以繞著軸線傾斜到"開(kāi)"位 置和"關(guān),,位置。靜電力可以通過(guò)鏡板與位于鏡板下方的電極之間的 電勢(shì)差產(chǎn)生。在"開(kāi)"位置,微鏡板可反射入射光以便形成顯示圖象 中的指定像素。在"關(guān),,位置,微鏡板可引導(dǎo)入射光遠(yuǎn)離顯示圖象。 在"開(kāi)"或"關(guān)"位置,鏡板可以通過(guò)機(jī)械止擋器來(lái)保持。發(fā)明內(nèi)容根據(jù)一個(gè)總的方面,描述了...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。