技術(shù)編號：2739952
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種。背景技術(shù)光刻設(shè)備是一種將所需圖案應(yīng)用到襯底的目標(biāo)部分上的機(jī)器。例如，可以將光刻設(shè)備用在集成電路(IC)的制造中。在這種情況下，可以將可 選地稱為掩?；蜓谀０?reticle)的圖案形成裝置用于生成對應(yīng)于IC的單層 的電路圖案。可以將該圖案成像到襯底(例如，硅晶片)上的目標(biāo)部分(例 如，包括一部分管芯、 一個(gè)或多個(gè)管芯的部分)上。所述襯底具有輻射敏 感材料(抗蝕劑)層。通常，單獨(dú)的襯底將包含被連續(xù)曝光的相鄰目標(biāo)部 分的網(wǎng)絡(luò)。公知的光刻設(shè)備包括...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲(chǔ)備，不適合論文引用。