技術(shù)編號(hào)：2738965
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及適用于玻璃襯底等的退火處理中的照明光學(xué)系統(tǒng)及裝備該光學(xué)系統(tǒng)的激光器處理裝置。相關(guān)技術(shù)的說明原來，已知有通過對非晶硅膜照射激光來結(jié)晶的技術(shù)。為通過注入雜質(zhì)離子恢復(fù)受損的硅膜的結(jié)晶性和活化注入的雜質(zhì)離子而照射激光的技術(shù)是公知的。這項(xiàng)技術(shù)被稱為激光退火技術(shù)。激光退火技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)是對襯底幾乎沒有熱損傷。此項(xiàng)技術(shù)的特征在于，有利于例如在玻璃等耐熱性低的襯底上形成半導(dǎo)體元件。近年來，液晶顯示元件、特別是大型的動(dòng)畫用液晶顯示元件中，由于成本問題和要求大面積化，希...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。