技術(shù)編號：2738263
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及雙光子微細(xì)加工的三維超分辨衍射光學(xué)器件及其設(shè)計方法。技術(shù)背景隨著微納技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域的飛速發(fā)展，人們對微細(xì)加工的要求不僅向縮小尺寸和提高精度方 向進行，而且越來越向著加工多樣化和器件三維化方面發(fā)展。針對后兩項要求，二十世紀(jì)九十 年代中后期正式興起的飛秒激光雙光子微細(xì)加工方法成為對傳統(tǒng)微納加工技術(shù)的重要補充。飛秒激光雙光子微細(xì)加工技術(shù)涉及現(xiàn)代光學(xué)、電子學(xué)、激光技術(shù)、精密儀器、計算機技術(shù) 及智能控制等，已成為近來微納加工技術(shù)的一個研究熱點?，F(xiàn)有的飛秒激光...
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