技術(shù)編號：2737967
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種納米壓印光刻膠表面改性劑，屬于半導(dǎo)體造技術(shù)光刻膠材料領(lǐng)域。背景技術(shù)納米壓印光刻技術(shù)是一種新的光刻技術(shù)，以其高分辨率低成本的特點(diǎn)而被認(rèn)為是可能用于大規(guī)模集成電路制造的下一代光刻技術(shù)。作為納米壓印光刻技術(shù)的關(guān)鍵材料，納米壓印光刻膠，由于其性能直接影響到復(fù)制圖形的分辨率、保真度、缺陷率以及圖形轉(zhuǎn)移過程中的刻蝕選擇性而被廣泛研究。現(xiàn)階段主要有熱壓印光刻膠和紫外納米壓印光刻膠兩大類，由于此技術(shù)采用機(jī)械接觸式光刻方法，壓印后脫模是其面臨的一個關(guān)鍵問題。經(jīng)...
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