技術(shù)編號(hào)：2737856
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種光學(xué)類型圖像測(cè)量設(shè)備，其測(cè)量樣品，諸如機(jī)械 部件和半導(dǎo)體芯片。背景技術(shù)傳統(tǒng)地，作為測(cè)量樣品的工件的形狀尺寸的測(cè)量設(shè)備，測(cè)量顯微 鏡或圖像測(cè)量設(shè)備普及廣泛。在這種測(cè)量設(shè)備中，放置在可水平移動(dòng) 的平臺(tái)上的樣品被放大并且通過光學(xué)系統(tǒng)被投影到圖像攝取設(shè)備，并 且，通過利用投影像被轉(zhuǎn)換成的圖像信號(hào)，來(lái)測(cè)量樣品的表面形狀、缺陷檢查、坐標(biāo)和尺寸。例如，日本專利特開No. 11-183124(專利文獻(xiàn) l)公開了這種測(cè)量設(shè)備。通常，測(cè)量設(shè)備包括透射照明和頂置...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。