技術(shù)編號：2737839
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。帶有帕邢堆疊的充電防護(hù)裝置背景技術(shù)本發(fā)明涉及微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)裝置，更具體地，涉及適 用于安全地工作在高施加電壓下的MEMS4竟子。MEMS裝置通常部分地采用公知的集成電路(IC )制造工藝形成。 一種這類裝置是適于響應(yīng)靜電驅(qū)動而樞轉(zhuǎn)的帶有萬向架的鏡子。這種 鏡子的運(yùn)動用于使光束改變方向。通常通過在襯底的平面表面上形成 的電極與位于該電極上方的鏡子之間的電容效應(yīng)獲得靜電驅(qū)動。為了 獲得相對大范圍的角運(yùn)動，鏡子以相對大的距離被懸掛在電極上方。 因此，...
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