技術編號：2737682
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及微機電系統(tǒng)(microelectrotnechanical system, MEMS)。背景技術微機電系統(tǒng)(MEMS)包含微機械元件、激活器和電子元件。可使用沉積、蝕刻和/或其它蝕刻掉襯底和/或已沉積材料層的部分或者添加層以形成電裝置和機電裝置的微加工工藝來產生微機械元件。 一種類型的MEMS裝置稱為干涉式調制器。如本文所使用，術語干涉式調制器或干涉式光調制器指的是一種使用光學干涉原理選擇性地吸收且/或反射光的裝置。在某些實施例中，干涉式調制器可...
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