技術(shù)編號：2737658
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。用于基fe定位和檢測的偏移校正方法和裝置背景技術(shù)等離子處理的進(jìn)步促進(jìn)了半導(dǎo)體工業(yè)的增長。 一般來說， 乂人單一處理后的基才反上切割下來的^果片(die)上可以創(chuàng)建若干個半 導(dǎo)體器件。為了對基板進(jìn)行處理，基板需要放置在等離子處理室內(nèi) 的基板夾頭上。基板在基板夾頭上的位置決定了要對基板的哪一部 分進(jìn)行處理以形成器件?，F(xiàn)在存在將基板與基板夾頭中心對齊的方法。在一個例 子中，在處理模塊中放置傳感器以確定基板相對于基板夾頭的位 置。在另一個例子中，利用如制導(dǎo)機(jī)械臂等...
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