技術(shù)編號：2736282
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及光柵的制造方法及其裝置，特別涉及衍射光柵和包括光纖布拉格光柵(簡稱FBG)在內(nèi)的各種波導(dǎo)光柵的制造方法及其裝置。背景技術(shù) 光柵是一種常用的光學(xué)元件。傳統(tǒng)光柵是由許多重復(fù)的具有一定間距光柵結(jié)構(gòu)組成。這些重復(fù)的光柵結(jié)構(gòu)對入射光的振幅，相位(或兩者)產(chǎn)生調(diào)制，而使入射光經(jīng)過光柵后產(chǎn)生衍射，形成各級衍射光。傳統(tǒng)衍射光柵是構(gòu)成各種光譜分析儀的關(guān)鍵器件。最早的衍射光柵是用機(jī)械刻劃的方法制成，現(xiàn)在的光柵大多采用全息干涉曝光和化學(xué)刻蝕法以及電子束刻劃法制成。將光...
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