技術(shù)編號：2735625
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及用于液晶顯示裝置的。TFT驅(qū)動方式中，由于使用多晶硅層的TFT與非結(jié)晶硅層的相比其電子遷移率較大，它不僅可用作像素顯示部分的晶體管還可作為驅(qū)動用晶體管，集成在玻璃基片上。以前，多晶硅的形成需要1000℃左右的高溫，因而必須使用昂貴的石英玻璃基片。最近，發(fā)展了以600℃左右的處理溫度形成多晶硅的技術(shù)，可以使用石英基片以外的玻璃材料。該方法中，通過激光照射玻璃基片上形成的非結(jié)晶硅膜，可以使基片溫度不上升而只是加熱非結(jié)晶硅膜并使其結(jié)晶。另一方面，在使用...
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