技術(shù)編號(hào)：2734625
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于聚合物光波導(dǎo)，具體涉及一種新型負(fù)性高含氟芳香-脂肪負(fù)性光刻膠組合物，其由高含氟芳香-脂肪環(huán)氧樹脂、光致產(chǎn)酸劑和有機(jī)溶劑組成，該光刻膠可以用于制備聚合物波導(dǎo)器件。背景技術(shù)光刻膠是一種對(duì)光和射線敏感的高分子材料。它通常由聚合物基質(zhì)、光致產(chǎn)酸劑 PAG (Photo Acid Generator)以及溶劑組成。此類材料目前主要應(yīng)用于微平板印刷、制造微電子器件及化學(xué)器件等。用光刻膠制造器件的基本制作過程是，首先將光刻膠涂覆在襯底材料上，烘干成膜，再通過掩...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。