技術編號：2733190
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種用來固定光學元件的光學元件固定裝置，更具體地說，涉及用來放置在曝光設備的曝光的光路中的光學元件的光學元件固定裝置，該曝光設備在用來制造微型裝置的過程中的光刻(photolithography)步驟中使用，這樣的微型裝置比如半導體裝置，液晶顯示裝置，成像裝置，以及薄膜磁頭，或者掩模(masks)，比如光柵(reticles)和光學掩模。本發(fā)明也涉及一種包容光學元件固定裝置的管筒，以及一種具有該管筒的曝光設備。本發(fā)明還涉及使用該曝光設備制作微型裝...
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