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適合在基板布置組件的裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2733134

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本發(fā)明涉及一種裝置,該裝置包含一個(gè)成像裝置, 一個(gè)放置元件和 一個(gè)光學(xué)系統(tǒng)。其中,放置元件與成像裝置連接以用來(lái)將一個(gè)元件放置 到基板上,而光學(xué)元件具有一個(gè)光學(xué)軸。其中放置元件可以和成像裝置 一起相對(duì)于該光學(xué)系統(tǒng)移動(dòng)到至少一個(gè)位置,使得光學(xué)軸處于成像裝置 和放置元件之間,其中成像裝置可以檢測(cè)到 一個(gè)由放置元件支撐的元件 的位置。背景技術(shù)采用這樣一種由國(guó)際專(zhuān)利申請(qǐng)WO-A1-2004/064472公開(kāi)的裝置,一 個(gè)元件將被放置元件拾取,而該元件通過(guò)光學(xué)系統(tǒng)被成...
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