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一種絕緣體上的硅基槽縫式光波導(dǎo)耦合器及其制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2732712

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本發(fā)明涉及光子器件,是一種槽縫式低耗光波導(dǎo)耦合器,該 波導(dǎo)耦合器的結(jié)構(gòu)可有效降低器件尺寸以及光纖和波導(dǎo)的耦合損耗,廣泛 應(yīng)用于光通訊,芯片光互聯(lián)以及高速硅基光集成中。背景技術(shù)近年來(lái),隨著硅基材料在光子學(xué)領(lǐng)域的不斷發(fā)展,人們對(duì)硅光子器件 也提出了更高的要求。絕緣體上的硅基波導(dǎo)結(jié)構(gòu)的期間能夠更大程度的提 高波導(dǎo)對(duì)光的限制作用,從而得到了很廣泛的應(yīng)用。目前報(bào)導(dǎo)的絕緣體上的硅基波導(dǎo)的尺寸大都在亞微米量級(jí),折射率在3.5左右,然而標(biāo)準(zhǔn)光纖 的尺寸大都在九微米左右,折...
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