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改善微機(jī)械非制冷紅外成像芯片中反光板平整度的方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2732711

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本發(fā)明涉及微電子器件制備,尤其涉及一種改善微機(jī)械 非制冷紅外成像芯片中反光板平整度的方法。背景技術(shù)傳統(tǒng)的紅外輻射探測(cè)器吸收入射光的紅外能量,使探測(cè)單元溫度 上升,再通過(guò)集成電路檢測(cè)探測(cè)器溫升引起的熱電效應(yīng),比如電阻率 和電容的變化等,得到紅外輻射的信息。傳統(tǒng)的熱型紅外探測(cè)器中熱電效應(yīng)是集成電路從每個(gè)探測(cè)器單元 中讀出的,由于電流輸入會(huì)在探測(cè)器單元上產(chǎn)生附加的熱量,所以這 種方式難以準(zhǔn)確地檢測(cè)到入射的紅外輻射?;诠?機(jī)械式的微懸梁陣列的紅外探測(cè)器的敏感單元...
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