技術編號：2732434
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明屬一種波分復用器件的制作方法，特別涉及溶膠凝膠光誘導折射率變化法制作摻錫SiO2/Si基列陣波導光柵的方法。背景技術 列陣波導光柵(AWG)是密集波分復用/解復用(DWDM)系統(tǒng)中的關鍵器件，它傳播損耗小，與光纖耦合效率高，被認為是最有發(fā)展前途的一種新型波分復用器件。AWG器件的結構包括，在單晶硅襯底上順次生長有下包層、波導芯層、上包層，在波導芯層制作有AWG圖形。列陣波導光柵通常是采用火焰水解法加反應離子刻蝕法制作的。即，用火焰水解法在單晶硅襯底上...
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